Aluminiomu Nitride Crucible ALN Aluminiomu Crucible
Igbejade ọja
AlN Ṣepọ nipasẹ idinku igbona ti alumina tabi nipasẹ nitride taara ti alumina.O ni iwuwo ti 3.26 Iforukọsilẹ & Idabobo nipasẹ MarkMonitor-3, botilẹjẹpe ko yo, decomposes loke 2500 °C ni oju-aye.Awọn ohun elo ti wa ni covalently iwe adehun ati ki o koju sintering lai iranlọwọ ti a olomi- lara aro.Ni deede, awọn oxides bii Y 2 O 3 tabi CaO gba laaye lati ṣaṣeyọri isọdọkan ni awọn iwọn otutu laarin 1600 ati 1900 °C.
Aluminiomu nitride jẹ ohun elo seramiki pẹlu iṣẹ ṣiṣe okeerẹ to dara julọ, ati pe iwadii rẹ le ṣe itopase pada si diẹ sii ju ọgọrun ọdun sẹyin.O jẹ ti F. Birgeler ati A. Geuhter Ti a rii ni ọdun 1862, ati ni 1877 nipasẹ JW MalletS Aluminiomu nitride ti ṣajọpọ fun igba akọkọ, ṣugbọn kii ṣe lilo ti o wulo fun diẹ sii ju ọdun 100 lọ, nigbati o lo bi ajile kemikali .
Nitori nitride aluminiomu jẹ agbo-ẹda covalent, pẹlu alasọdipúpọ ti ara ẹni kekere ati aaye yo giga, o nira lati sintering.Kii ṣe titi di awọn ọdun 1950 ti awọn ohun elo amọ nitride aluminiomu ni aṣeyọri ni iṣelọpọ fun igba akọkọ ati lo bi ohun elo ifasilẹ ni sisọ ti irin funfun, aluminiomu ati alloy aluminiomu.Lati awọn ọdun 1970, pẹlu jinlẹ ti iwadii, ilana igbaradi ti nitride aluminiomu ti dagba sii, ati iwọn ohun elo rẹ ti n pọ si.Paapaa lati titẹ si ọrundun 21st, pẹlu idagbasoke iyara ti imọ-ẹrọ microelectronics, ẹrọ itanna ati awọn paati itanna si miniaturization, iwuwo fẹẹrẹ, isọpọ, ati igbẹkẹle giga ati itọsọna iṣelọpọ agbara giga, awọn ẹrọ eka diẹ sii ati siwaju sii ti sobusitireti ati awọn ohun elo apoti ti itujade ooru fi sii. siwaju awọn ibeere ti o ga julọ, siwaju sii igbelaruge idagbasoke agbara ti ile-iṣẹ nitride aluminiomu.
Akọkọ Awọn ẹya ara ẹrọ
AlN dojukọ ogbara ti awọn irin didà pupọ julọ, paapaa aluminiomu, litiumu ati bàbà
O jẹ sooro si ọpọlọpọ ogbara ti iyọ didà, pẹlu chlorides ati cryolite
Imudara igbona giga ti awọn ohun elo seramiki (lẹhin beryllium oxide)
Agbara iwọn didun giga
Agbara dielectric giga
O ti wa ni eroded nipasẹ acid ati alkali
Ni fọọmu lulú, o jẹ irọrun hydrolyzed nipasẹ omi tabi ọrinrin ọrinrin
Ohun elo akọkọ
1, ohun elo ẹrọ piezoelectric
Aluminiomu nitride ni resistance ti o ga, ifarapa igbona giga (awọn akoko 8-10 ti Al2O3), ati imugboroja kekere kan ti o jọra si ohun alumọni, eyiti o jẹ ohun elo ti o dara julọ fun iwọn otutu giga ati awọn ẹrọ itanna giga.
2, ohun elo sobusitireti apoti itanna
Awọn ohun elo sobusitireti seramiki ti a lo nigbagbogbo jẹ beryllium oxide, alumina, nitride aluminiomu, ati bẹbẹ lọ, ninu eyiti sobusitireti seramiki alumina ni ifarakan gbona kekere, olùsọdipúpọ igbona ko baramu si ohun alumọni;biotilejepe beryllium oxide ni awọn ohun-ini to dara julọ, ṣugbọn lulú rẹ jẹ majele ti o ga julọ.
Lara awọn ohun elo seramiki ti o wa tẹlẹ ti o le ṣee lo bi awọn ohun elo sobusitireti, seramiki nitride silikoni ni agbara atunse ti o ga julọ, aapọn yiya ti o dara, jẹ ohun elo seramiki pẹlu iṣẹ ṣiṣe ẹrọ okeerẹ ti o dara julọ, ati iye iwọn imugboroja igbona ti o kere julọ.Aluminiomu nitride awọn ohun elo amọ ni iṣelọpọ igbona ti o ga, resistance ipa igbona ti o dara, ati tun ni awọn ohun-ini ẹrọ ti o dara ni iwọn otutu giga.Ni awọn ofin ti iṣẹ, nitride aluminiomu ati silikoni nitride jẹ awọn ohun elo ti o dara julọ fun awọn sobusitireti apoti itanna, ṣugbọn wọn tun ni iṣoro ti o wọpọ ni pe idiyele naa ga ju.
3, ati pe a lo si awọn ohun elo luminescent
Iwọn ti o pọ julọ ti aafo bandgap taara ti aluminiomu nitride (AlN) jẹ 6.2 eV, eyiti o ni ṣiṣe iyipada fọtoelectric ti o ga julọ ni akawe si semikondokito bandgap aiṣe-taara.AlN Gẹgẹbi ina buluu ti o ṣe pataki ati ohun elo ti njade ina UV, o lo si UV / jinna ina-emitting diode, diode laser UV ati aṣawari UV.Pẹlupẹlu, AlN le ṣe agbekalẹ awọn solusan to lagbara lemọlemọfún pẹlu ẹgbẹ III nitrides gẹgẹbi GaN ati InN, ati ternary tabi quaternary alloy le nigbagbogbo ṣatunṣe aafo ẹgbẹ rẹ lati han si awọn ẹgbẹ ultraviolet jin, ti o jẹ ki o jẹ ohun elo luminescent giga-giga pataki.
4, eyiti a lo si awọn ohun elo sobusitireti
Awọn kirisita AlN jẹ sobusitireti pipe fun GaN, AlGaN bakanna bi awọn ohun elo epitaxial AlN.Ti a ṣe afiwe pẹlu oniyebiye tabi sobusitireti SiC, AlN ni ibaramu gbona diẹ sii pẹlu GaN, ni ibaramu kemikali ti o ga julọ, ati wahala ti o dinku laarin sobusitireti ati Layer epitaxial.Nitorinaa, nigba lilo AlN kirisita bi sobusitireti epitaxial GaN, o le dinku iwuwo abawọn ninu ẹrọ naa, mu iṣẹ ṣiṣe ti ẹrọ naa dara, ati pe o ni ifojusọna ohun elo to dara ni igbaradi ti iwọn otutu giga, igbohunsafẹfẹ giga ati itanna agbara giga. awọn ẹrọ.
Ni afikun, awọn ohun elo AlGaN epitaxial sobusitireti pẹlu AlN gara bi aluminiomu giga (Al) paati tun le ni imunadoko idinku abawọn abawọn ninu Layer epitaxial nitride, ati ilọsiwaju pupọ si iṣẹ ati igbesi aye iṣẹ ti ẹrọ semikondokito nitride.Awọn aṣawari afọju-didara didara ojoojumọ ti o da lori AlGaN ti lo ni aṣeyọri.
5, ti a lo ninu awọn ohun elo amọ ati awọn ohun elo ifasilẹ
Aluminiomu nitride le ṣee lo si sisọ ti awọn ohun elo amọ, awọn ohun elo amọ nitride aluminiomu ti a pese silẹ, kii ṣe awọn ohun-ini ẹrọ ti o dara nikan, agbara kika jẹ ti o ga ju Al2O3 ati awọn ohun elo BeO, líle giga, ṣugbọn tun iwọn otutu giga ati idena ipata.Lilo AlN seramiki ooru resistance ati ipata resistance, o le ṣee lo lati ṣe ga otutu ipata sooro awọn ẹya ara bi crucible ati Al evaporation awo.Ni afikun, awọn ohun elo amọ AlN mimọ jẹ awọn kirisita sihin ti ko ni awọ, pẹlu awọn ohun-ini opitika ti o dara julọ, ati pe o le ṣee lo bi ferese infurarẹẹdi iwọn otutu ti o ga ati ibora sooro ooru fun awọn ohun elo amọ ti n ṣe awọn ẹrọ itanna opiti.
6. Awọn akojọpọ
Awọn ohun elo idapọmọra Epoxy / AlN, bi ohun elo iṣakojọpọ, nilo ifọkansi gbigbona to dara ati agbara itusilẹ ooru, ati pe ibeere yii jẹ okun sii.Gẹgẹbi ohun elo polima pẹlu awọn ohun-ini kemikali ti o dara ati iduroṣinṣin ẹrọ, resini iposii jẹ rọrun lati ṣe arowoto, pẹlu oṣuwọn isunki kekere, ṣugbọn adaṣe igbona ko ga.Nipa fifi awọn ẹwẹ titobi AlN kun pẹlu iṣiṣẹ igbona to dara julọ si resini iposii, iṣiṣẹ igbona ati agbara le ni ilọsiwaju daradara.
